掃描電鏡如何避免因樣品偏移造成圖像漂移?
日期:2025-06-12
在掃描電鏡(SEM)觀察中,如果圖像出現漂移、跳動或位置不穩定,可能是由于樣品偏移或不穩定造成的。以下是問題原因分析和避免建議:
一、為什么樣品偏移會導致圖像漂移?
掃描電鏡的成像是通過電子束在樣品表面逐點掃描得到的。若樣品在成像過程中發生輕微移動或震動,會直接導致圖像模糊、重影、條紋或漂移。常見原因包括:
樣品未固定牢靠;
樣品臺未鎖緊;
真空泵運行或室內振動引起微小機械擾動;
樣品因電子束照射發生熱膨脹或形變;
樣品裝夾不平整或傾斜。
二、如何避免樣品偏移導致圖像漂移?
1. 固定樣品牢固
使用導電碳膠、碳帶或銀膠將樣品牢牢粘貼在樣品臺上;
盡量將樣品貼平、貼緊,避免在傾斜角度大或邊緣懸空處裝夾;
粘貼時注意樣品重心,避免不平衡造成偏轉。
2. 檢查并鎖緊樣品臺
安裝樣品后,確保樣品臺各軸完全鎖定,特別是傾斜和旋轉角;
有些 SEM 樣品臺有微動或步進結構,確保沒有“游隙”。
3. 降低室內振動干擾
避免在樣品室附近走動或敲擊;
確保 SEM 安裝在減震平臺或穩定地面上;
避免靠近空調風口或電機設備。
4. 等樣品“穩定”后再成像
樣品剛進入高真空時會因氣壓、溫度變化略有應力;
等待 5–15 分鐘再進行高倍率成像,避免初期不穩定。
5. 避免樣品因電子束照射變形
對熱敏感樣品(如高分子、生物、納米膜等)應使用低電壓、低束流;
減少單點長時間曝光,避免熱積累。
6. 使用低倍率定位后再逐步放大
先在低倍率下完成定位、對焦、亮度調整;
再逐步放大觀察,避免在高倍率下因樣品微動而失去目標區域。
7. 避免充電和電荷積累
非導電樣品帶電也會導致圖像漂移(電荷引力擾動電子束);
可通過噴金、低壓模式或導電膠接地等方法處理。
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作者:澤攸科技