掃描電鏡樣品臺可以調角度嗎？有什么作用？
日期：2025-06-11
掃描電鏡（SEM）樣品臺通?？梢哉{節角度，這是樣品臺設計中的一個重要功能，具體包括傾斜（tilt）和旋轉（rotate）兩個方向的調節。其主要作用如下：
一、調角度的基本方式
傾斜（Tilt）：通常在 -5° 到 +70° 之間可調，有些設備甚至支持更大范圍。
旋轉（Rotate）：可以繞垂直軸旋轉，角度范圍一般為 360°。
二、調節角度的作用
優化成像視角
通過傾斜樣品，可以從不同角度觀察其表面結構，獲得更加立體或真實的圖像，特別適用于觀察微觀結構的高度差或凹凸不平的表面。
提高成分分析效率（EDS 等）
EDS 探測器一般位于側面，為了提高探測效率，可以將樣品臺傾斜，使待分析表面朝向探測器，減小X射線路徑被樣品本體遮擋的可能，增強信號強度。
進行晶體取向分析（如 EBSD）
EBSD 分析時需要將樣品臺傾斜至 70° 左右，以使電子束以合適角度入射到樣品表面，從而獲得清晰的背散射電子衍射圖樣。
尋找合適的觀測面
對于不規則樣品，可以通過旋轉和傾斜找到平整且對準電子束的觀測區域，提高成像質量。
避免充電效應
對于非導電樣品，適當調整角度有時可以分散電子束入射區域，降低局部充電的風險，改善成像效果。
三、使用注意事項
調角時要避免樣品碰撞電子槍或探測器；
在高倍率或進行精細分析前，應鎖定樣品臺，防止移動；
傾斜角度過大時，景深變化明顯，需重新聚焦；
部分分析（如定量EDS）在高傾角時可能出現幾何畸變，需要修正。
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作者：澤攸科技
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