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判斷掃描電鏡（SEM）圖像是否聚焦良好，主要依靠觀察圖像的細節清晰度和邊緣銳利度。以下是一些具體方法和技巧：

細節清晰度

圖像中微小結構（如顆粒邊緣、紋理、裂縫等）是否清晰分明，沒有模糊或拖影。

細節處的對比度是否明顯，邊緣分界清楚。

邊緣銳利度

樣品表面形貌的邊緣線條應清晰銳利，不出現模糊擴散。

觀察邊緣是否有“暈影”或模糊，這通常表示焦點未對準。

三維感和立體感

聚焦良好的圖像通常具有較強的立體感，陰影和高光分布合理。

焦點偏差會使圖像顯得扁平或細節層次不分明。

對比度變化

適當調整焦距時，圖像對比度會出現明顯變化，正確聚焦時對比度高。

輔助調整

利用SEM軟件中的聚焦輔助功能（如自動對焦或聚焦峰值顯示）。

使用放大倍率逐步微調焦距，觀察圖像變化。

通過調節工作距離和電子束參數，尋找聚焦點。