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長行程壓電納米位移臺ML-92A

長行程壓電納米位移臺ML-92A,該產品使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。能夠步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。支持開環/閉環控制。

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    長行程壓電納米位移臺ML-92A,具有分辨率高,行程大,帶有高精度及高分辨率的位置反饋,操作簡單,定位準,能在真空下使用等優點,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。

    該產品使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。能夠步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。支持開環/閉環控制。

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應用案例

    1、電子顯微鏡原位納米探針臺

    2、半導體芯片檢測

    3、光刻機工件臺

    4、微生物操縱手

    5、光纖焊接


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