掃描電鏡圖像為何可能會出現條紋或拖影?
日期:2025-05-29
掃描電鏡(SEM)圖像中出現條紋或拖影(smearing、streaks、drag)現象,通常反映了電子束掃描、樣品狀態或系統穩定性的問題。以下是常見原因及解釋:
1. 樣品帶電
非導體樣品或導電不良區域容易積聚電子,形成局部電場,使電子束偏轉,導致圖像出現:
條紋狀亮斑
圖像偏移或重復拖尾
解決方法:
在樣品表面噴金、碳等導電涂層
使用低加速電壓成像
使用環境掃描電鏡(ESEM)
2. 掃描速度過慢或電子束漂移
長時間掃描時,如果樣品或電子束存在漂移,會導致圖像模糊或形成拖影。
常見原因包括:
樣品加熱或冷卻造成熱膨脹位移
鏡筒電子漂移
工作環境不穩定(如溫度、磁場、空氣流)
解決方法:
穩定室溫
縮短掃描時間(提高掃描速度)
等待樣品和系統熱穩定后再掃描
3. 振動干擾或電磁噪聲
環境振動或電磁干擾可造成周期性圖像條紋,尤其表現為橫向或斜向線性條紋。
可能來源:
地板震動、周圍設備運作(如壓縮機)
電源干擾(如接地不良或電源共地問題)
解決方法:
使用防震臺
排查接地系統
遠離大功率電器或變壓器
4. 探測器信號問題
探測器本身存在故障或信號接觸不良,也會導致圖像中出現不規則紋理或噪聲線條。
建議檢查:
探測器是否干凈
接線是否松動
放大電路是否工作正常
5. 數據傳輸錯誤或圖像存儲損壞
在圖像數據采集、處理或保存過程中出現錯誤,也可能造成圖像條紋或部分圖像拖尾。
可嘗試:
重啟 SEM 軟件或主機
再次采圖觀察是否可重現問題
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作者:澤攸科技
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