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樣品的偏斜角度會顯著影響掃描電鏡（SEM）的成像效果。以下是幾個主要影響：

1. 影響成像的幾何失真

當樣品相對于掃描電鏡的電子束發生偏斜時，會引入幾何失真，導致圖像出現畸變，尤其是在樣品表面呈現復雜形狀或具有明顯傾斜的情況下。這可能導致：

圖像拉伸或壓縮：樣品的不同部分在成像中可能被拉伸或壓縮，尤其是當偏斜角度較大時，圖像的尺度可能會受到影響。

對稱性破壞：對于對稱性較強的樣品（如晶體結構或圓形圖案），傾斜角度的變化會破壞圖像的對稱性，影響形貌分析的準確性。

2. 影響二次電子（SE）和背散射電子（BSE）的收集

二次電子（SE）圖像：二次電子是樣品表面或近表面的電子，在樣品傾斜時，電子的發射角度和路徑會變化，這會影響二次電子的收集效率，從而導致圖像亮度和對比度的變化。

背散射電子（BSE）圖像：背散射電子受樣品的偏斜影響較大，因為背散射電子的產生和收集都依賴于入射電子束與樣品表面相互作用的幾何關系。當樣品傾斜時，背散射電子的收集角度變化可能導致圖像對比度變化，甚至影響某些區域的成像質量。

3. 影響深度信息

在樣品表面存在高度不平整或結構復雜時，傾斜角度的變化會影響對樣品表面不同深度區域的電子束照射和探測，可能導致某些區域的信號較弱，從而影響成像的細節。例如，傾斜的表面可能導致某些區域難以被電子束照射到，產生暗區或圖像缺失。

4. 影響聚焦和分辨率

樣品的偏斜會導致某些區域與電子束的焦點偏移，影響圖像的清晰度和分辨率。當樣品傾斜時，整個掃描過程中，樣品的不同區域可能處于不同的焦平面，從而導致圖像的某些部分變得模糊。

5. 影響能譜分析（EDS）

如果在SEM中同時進行能譜分析（如EDS），樣品的偏斜角度會改變探測器和樣品表面之間的角度，可能影響信號的強度和分析結果的準確性。特別是對于表面元素和深層元素的分析，偏斜角度可能引起一定程度的誤差。